微电子技术

采用计算机辅助设计将几万个到几百万个晶体管单元构成功能电路;将自动绘出的图形微缩至十几毫米的面积,应用微缩掩膜,采用微米和亚微米光刻及腐蚀加工技术,在半导体单晶芯片上制成微型电路的整套技术,以及用这些电路装配成各类微电子设备的总称。微电子技术对信息技术、自动化技术、机电一体化等都有重大影响,是高技术开发的重要领域。

自20世纪60年代初制成第一块集成电路以来,微电子技术开始逐步形成,之后,因其功能优异、价格低廉,在70~80年代得到迅猛发展。以存储器为例,从1970年到1983年,13年间集成度提高了1000倍,其单位价格由1970年的2美分,到1984年只需0.005美分,14年间降价400 倍。这在各类工业产品中都是仅见的。微电子技术的发展对当代社会的影响广泛而深远。首先表现在它促进了电子计算机的发展。微电子技术出现后,微型计算机、微处理器等应运而生,而微型计算机和微处理器等的出现,使计算机在各行各业得以应用。自1971年出现微型机以来到80年代中期,已经换了四代,产量也由1980年的54万台增至80年代中期的1000多万台。与此相应,计算机的价格也大为下降。以1962年每秒运算70万次的中型机为例,当时售价为120万美元,到80年代中期,同样功能的微型机只要5000美元。使用上的灵活、方便,价格上的低廉为电子计算机的普及创造了条件。其次微电子技术的出现促成了机械电子学(俗称机电一体化)的产生,而机电一体化产品的出现将引起机械工业的革命。这对各生产行业的自动化都有着深而广的影响。例如,出现了数控机床、加工中心、柔性制造系统、智能仪表、机器人、自动化汽车与机车等。甚至农业也会由于微电子技术的应用而开始实现自动化。微电子技术的出现还引起商品结构的变化。例如,只用一块电路的电子钟在80年代中期已占世界钟表产量的70%。以微电子技术装备的袖珍计算机、家用微型计算机、收录机、录相机、数字式电话交换机等大量出现,甚至某些传统耐用消费品如电冰箱、洗衣机、缝纫机、照相机等采用了微电子技术后,增加了自动化功能,使产品增值,销量大增。此外,在科研工程部门、医疗部门、商业服务性行业、办公室工作等领域也由于采用微电子技术而实现自动化。据统计,微电子技术的应用已有2500余种。美国、日本、联邦德国等发达国家其国民生产总值的58%与微电子技术有关。日本科学与经济会调查表明,80年代初日本有36%的企业由于采用了微电子技术,生产率提高了11%。